电阻率在 17MΩ 上下浮动,TOC 降不下来

一家半导体封装企业的超纯水系统整改实录

华南一家半导体封装测试企业的超纯水系统电阻率一直在 15.5 到 17 MΩ·cm 之间浮动,TOC 维持在 50 ppb 上下,颗粒物还时有超标,系统回收率只有 55%。

工程师上门实地勘察后发现,问题不在单个部件:预处理滤料已板结饱和,RO 膜面有生物黏泥与无机结垢,脱盐率下降;EDI 电流设定仍按新膜状态运行,与当前水质不匹配;

RO 与 EDI 之间缺少脱气环节,二氧化碳进入 EDI 后持续消耗树脂交换容量。几处叠加,才导致三项指标同时不达标。半导体封装超纯水预处理罐体设备现场安装调试

整体改造方案从工艺路线、材质选型、设备配置、仪表到管路与施工逐项落实。现场施工 10 天,分时段、分段切换,没有停整条产线。

改造完成后,电阻率从 15.5 到 17 MΩ·cm 提升并保持在 18.2 MΩ·cm,未再出现掉档;TOC 由 50 ppb 降至 10 ppb;颗粒物从时有超标转为受控;回收率从约 55% 提高到约 68%。

投运后经历过两次源水水质波动(雨季地表水浊度上升),系统均自动调整,电阻率未再掉档。超纯水系统电控柜 PLC 程序组态调试现场


恒南不仅专注纯水系统的设计、制造与交付,还有整体系统的整改与升级和后期维保;我们是基于自己做设备的经验,把运行不稳定、达不到设计值的系统重新调回稳定状态。

如果你手上有这样的项目,可以把水质报告和工艺流程图发给我们,免费系统诊断,把问题解决。


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